微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是一種可定義為晶圓級(jí)微型機(jī)械和機(jī)電元件的技術(shù)。這使得 MEMS 技術(shù)能夠嵌入到可以集成在印刷電路上的芯片上，就像任何其他電子元件一樣。
設(shè)備由集成微電子控制下的機(jī)電元件（移動(dòng)或不動(dòng)）組成。
MEMS 的功能元件是微型結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器和微電子器件。微傳感器和微執(zhí)行器被歸類為傳感器，是將測(cè)量的機(jī)械信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的設(shè)備。
微型傳感器現(xiàn)在可用于各種測(cè)量，例如溫度、壓力、磁場(chǎng)或慣性測(cè)量。
我們的 IMU 選用了高質(zhì)量的 MEMS 元件。與機(jī)械或 FOG 陀螺儀或伺服加速度計(jì)等競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)相比，這種 MEMS 技術(shù)具有許多優(yōu)勢(shì)：
? 微型設(shè)計(jì)提供了更小、更輕的產(chǎn)品，從而能夠覆蓋新的應(yīng)用。
? 該技術(shù)非常堅(jiān)固，具有更高的抗沖擊性以及免維護(hù)操作。
? 與 FOG 或 RLG 等其他技術(shù)相比，MEMS 設(shè)計(jì)提供了具有成本效益的解決方案。
盡管相同的 MEMS 技術(shù)也用于智能手機(jī)和平板電腦等消費(fèi)類應(yīng)用，但低成本 MEMS 與導(dǎo)航級(jí) MEMS 傳感器之間存在非常大的性能差距。
IMU 專為惡劣環(huán)境而設(shè)計(jì)。具體的發(fā)展帶來了高效的振動(dòng)處理。
當(dāng)受到振動(dòng)時(shí)，加速度計(jì)或陀螺儀的偏差會(huì)增加。這種振動(dòng)對(duì)加速度計(jì)的影響稱為 VRE。因此，一個(gè)好的起點(diǎn)是選擇具有低 VRE 的傳感器，以承受更高水平的振動(dòng)。
第二點(diǎn)是設(shè)計(jì)高效的硬件和軟件信號(hào)處理，特別是高頻采樣（>1kHz）將防止混疊問題并提高傳感器數(shù)據(jù)分辨率。
? 3DM-GX5-GNSS/AHRS 高性能 GNSS 導(dǎo)航傳感器
? 3DM-GX5-IMU 高性能慣性測(cè)量單元（IMU）
? 3DM-CV5-IMU 嵌入式慣性測(cè)量單元
? Advanced Navigation Orientus MEMS AHRS 傳感器
